①模块化设计与集成：
激光退火设备通常采用整机模块化设计与集成，这种设计方式使得设备能够兼容多种尺寸的薄片晶圆，如4、6、8英寸等。
②激光整形技术：设备集成了自研的成熟好的激光整形技术，确保光斑能量高度均匀且稳定，从而提高退火处理的效果和一致性。
③优异的退火效果：退火后，材料表面均匀、平整，表现出优秀的电学特性及表面形貌特征。这对于提高材料的性能和稳定性具有重要意义。
④严格的含氧量控制：设备严格控制腔体含氧量，以有效控制表面碳析出量和分布，减少因含氧量过高而导致的材料性能下降问题。
⑤监控与补偿系统：配置有监控与补偿系统，用于监测光学能量稳定性和非退火面温度，确保退火过程的稳定性和可控性。
⑥符合标准与通信支持：配备EFEM传输系统，整机符合SEMI标准，并支持SECS-GEM通信协议，便于与其他生产设备进行集成和通信。
